Sinteza faze kemijske pare borovog nitrida

Sokolowski je 1979. uspješno koristio tehnologiju pulsirane plazme za pripremu kubnih filmova borovog nitrida (CBN) pri niskim temperaturama i niskom tlaku. Oprema koja se koristi je jednostavna, a postupak je lako realizirati, pa se brzo razvija. Pojavile su se razne metode taloženja pare. Tradicionalno govoreći, uglavnom se odnosi na termičko kemijsko taloženje para. Eksperimentalni uređaj uglavnom se sastoji od kvarcne cijevi otporne na toplinu i uređaja za grijanje. Podloga se može zagrijavati pomoću grijaće peći (CVD s vrućim zidovima) ili visokofrekventnim indukcijskim grijanjem (CVD s hladnim zidom). Reakcijski plin raspada se na površini visokotemperaturne podloge, a istodobno dolazi do kemijske reakcije koja taloži film. Reakcijski plin je miješani plin BCl₃ ili B₂H₄i NH₃.